项目名称

　　扫描电子显微镜—能谱仪

　　代号 　　G0023

　　有关说明

　　主要配置：

　　日本设备SEM：二次电子探测器、背散射电子探测器；

　　美国设备EDS：蓝宝石锂漂移硅CDU型带超薄窗口X射线探测器、数字脉冲处理器。

　　主要技术指标：

　　SEM：高真空分辨率3.0nm；低真空分辨率4.0nm；放大倍数范围：5～10000。

　　EDS：分辨率优于132eV；可测元素范围4Be-92U。

　　主要应用范围：

　　SEM：表面微区形貌和结构分析，微小物体形貌和粒度分析；EDS：表面微区成分的定性和半定量分析。

　　收费标准

　　按测试项目等要求商定