海鹰工程装备公司单晶炉研制进展顺利,已于近日完成了主体部分总装调试,即将进入用户试用阶段。该设备的研制,标志着公司向光伏产业设备市场迈出了可喜的一步。
单晶炉是直拉法制备硅单晶的关键技术装备,在我国,以单晶炉为代表的晶体生长设备一直存在核心技术不足的问题,高端产品均为国外公司所垄断,在很大程度上制约了我国超大规模集成电路和太阳能产业的发展。海鹰工程装备公司研制的设备在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无位错单晶,适用于生产大规模集成电路、太阳能所需要的高质量单晶。由于采用了软籽晶轴,该设备具有独特的籽晶提升机构,降低了设备的高度,在一般厂房中也可安装使用,便于装配、维修和拉晶操作,同时实现了籽晶轴转速稳定的效果。 |